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技術(shù)文章
INFICON公司有CDG電容膜片真空計(jì)、BPG400／BPG402-S B-A型皮拉尼真空計(jì)、HPG400高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)、BCG450 B-A型皮拉尼電容膜片真空計(jì)、PSG500／PSG512-S皮拉尼標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)、PCG550／554皮拉尼電容膜片真空計(jì)、PEG100潘寧真空計(jì)、MPG400／401反磁控皮拉尼真空計(jì)和VGC401／403真空計(jì)控制器。如何來選擇呢？以下我們做具體的說明：
一，皮拉尼真空計(jì)
1. 皮拉尼真空計(jì)原理
加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì)發(fā)生變化,熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系
2. 衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī)
1，穩(wěn)定溫度，測(cè)量施加的電壓變化等效測(cè)量真空度（INFICON PSG500）
2，穩(wěn)定電壓，測(cè)量溫度變化等效測(cè)量真空度（熱偶規(guī)）
3. 氣體的熱傳導(dǎo)，與下列提條件有關(guān):
1，氣體類型
2，壓力大小
4. 皮拉尼真空計(jì)測(cè)量范圍與精度
測(cè)量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮?dú)猓? x 10-4至 1000 mbar
精度（氮?dú)猓? 1x 10-3… 100毫巴 ± 15%
5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴 ± 50% gbg
100 ... 1000毫巴 ± 50%
5. 皮拉尼真空計(jì)的優(yōu)特點(diǎn)
燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以zui大的保護(hù)，大大延長了燈絲的使用壽命
6. 皮拉尼真空計(jì)具體型號(hào)
PSG050/051
PSG100-S PSG101-S
PSG500/PSG500-S PSG502
皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計(jì)PCG400 PCG410 PCG550
1. 有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起
2. 兩種原理的規(guī)管全過程都工作
3. 100 mbar--1000 mbar 使用薄膜
4. 1 mbar--100mbar 兩規(guī)信號(hào)同時(shí)采用
5. 5x10-4mbar--1 mbar 采用皮拉尼信號(hào)
6. 輸出的真空度信號(hào)（電壓）連續(xù)，無跳躍
7. 皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用行業(yè)
各種高真空泵的前級(jí)壓力測(cè)量，如光伏，鍍膜，等離子行業(yè)
各種中低真空測(cè)量，如照明，冶金
真空連鎖控制，高真空計(jì)的點(diǎn)火開關(guān)控制，如PEG100
PSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR216
PCG400 PCG410（現(xiàn)在已升級(jí)為PCG550，PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn)）與PSG500 基本相同，但彌補(bǔ)了皮拉 尼規(guī)大氣測(cè)量段精度不足的弱點(diǎn)，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍(lán)寶石爐上廣泛應(yīng)用
PSG100 PSG101，與PSG500/P SG050 基本相同，但因?yàn)榫哂型ㄓ崊f(xié)議功能，在大系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛
二，電容薄膜規(guī)CDG025D/CDG045D/100/160/200
1. 電容薄膜規(guī)工作原理
壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系
通過測(cè)量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測(cè)量真空度
2. 電容薄膜規(guī)特點(diǎn)
以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成
在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強(qiáng)測(cè)量
快速的預(yù)熱和恢復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)率
的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性
由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補(bǔ)償和EMC兼容性
對(duì)環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測(cè)量更穩(wěn)定
快速預(yù)熱在開機(jī)的一分鐘內(nèi)達(dá)到快速穩(wěn)定和進(jìn)入 準(zhǔn)備使用狀態(tài)
一鍵按鈕: 調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整
抗腐蝕超純陶瓷傳感器
能經(jīng)受數(shù)百萬次壓強(qiáng)循環(huán)周期,包括大氣壓 沖擊,無任何降低性能的跡象
暴露大氣壓后快速恢復(fù),無需隔離閥
對(duì)蒸氣介質(zhì)不敏感
傳感器屏蔽 （）延長真空計(jì)在污染的工藝過程中的使用壽命
3. INFICON陶瓷技術(shù)
陶瓷技術(shù)的*性
1， 無 “記憶” 效應(yīng)
2， 陶瓷無疲勞問題
3， 的溫度補(bǔ)償
4， 的零點(diǎn)穩(wěn)定性
低使用成本
1， 非凡的使用壽命
2， 無需隔離閥
4. Sky CDG025D測(cè)量范圍 大氣到100mtorr
5. 加熱型薄膜規(guī) CDG045D，CDG100D，CDG160D，CDG200D
6. 加熱型優(yōu)點(diǎn)
零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）
更高的精度
環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對(duì)精度無影響
比工藝更快的預(yù)熱啟動(dòng)時(shí)間’
快速恢復(fù)時(shí)間 大氣壓 < 1 min within 5mV
任意安裝角度
抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響
7. 電容薄膜規(guī)的應(yīng)用
要求高的應(yīng)用條件下，而快速的壓強(qiáng)測(cè)量
用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導(dǎo)體設(shè)備制造，如太陽能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內(nèi)用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規(guī)622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設(shè)備標(biāo)配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計(jì)用的是1179BX2 3CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3，國內(nèi)用的好多PECVD設(shè)備上用的是INFICON的CDG025D。
資料貯存和顯示器制造設(shè)備
工業(yè)真空設(shè)備
常用高精度真空測(cè)量
三，熱電離規(guī)
1. 熱電離規(guī)原理
Richardson 效應(yīng): 高溫?zé)艚z發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個(gè)或多個(gè)電子被撞擊出去，形成帶正電的離子
1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出
2）離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系
3. 熱電離型復(fù)合規(guī)
HPG400
BPG400/-SP/-SD/SR
BPG402
BCG450 B-A規(guī)，皮拉尼規(guī)，薄膜規(guī)三種型號(hào)復(fù)合在一起
4. 優(yōu)點(diǎn)及應(yīng)用
BPG
? 測(cè)量范圍寬，一個(gè)規(guī)管覆蓋13個(gè)量程5x10-10–1000 mbar
? 精度高，*的重復(fù)性5%
? 燈絲材料鍍釔的銥絲有*的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護(hù)，使燈絲并不會(huì)因突然暴露大氣而燒毀。
? 方便的校準(zhǔn)調(diào)節(jié)
? 注意事項(xiàng)：
? 1、對(duì)氣體有選擇性
? 2、抗污染能力弱
? 普遍應(yīng)用于從低到超高真空的測(cè)量
? 在工業(yè)，半導(dǎo)體，研究行業(yè)應(yīng)用廣泛
BPG402
? 雙燈絲，大大延長使用壽命
? 電離規(guī)的工作可以自定義控制
? 探頭備件自帶校準(zhǔn)參數(shù)，保證精度與重復(fù)性
HPG400
? 電離規(guī)與皮拉尼的復(fù)合
? 皮拉尼自鎖保護(hù)電離規(guī)
? 電離規(guī)的工作啟動(dòng)點(diǎn)可以一定范圍內(nèi)自定義
? 簡易的校準(zhǔn)功能
? 相對(duì)便宜的價(jià)格
BCG450
? 可調(diào)的電離規(guī)工作起點(diǎn)
? 的重復(fù)性
? 的大氣端測(cè)量
四，冷電離規(guī)（潘寧規(guī)）
1. 冷電離規(guī)原理
通過氣體放電方式產(chǎn)生電子，通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離
2. 潘寧規(guī)特點(diǎn)與應(yīng)用
測(cè)量范圍：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar
全金屬密封
無燈絲
易清洗
應(yīng)用于普通的高真空測(cè)量
3. 冷規(guī)復(fù)合規(guī)MPG400特點(diǎn)與應(yīng)用
冷規(guī)與皮拉尼規(guī)的復(fù)合
測(cè)量范圍廣： 5x10-9-1000 mbar
易于保養(yǎng)清洗
無高真空燈絲，
應(yīng)用于普通高真空測(cè)量
五、真空計(jì)控制器的型號(hào)分別為：VGC401、VGC402、VGC403。分別表示一路、二路、三路；看您一個(gè)真空計(jì)控制器配幾個(gè)真空計(jì)來選。INFICON的通信電纜有網(wǎng)線的和15針角的，選擇時(shí)一定要注意。
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