MKS流量計的詳細介紹及選型指南

    美國MKS INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術(shù)，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發(fā)生器及真空技術(shù)，其產(chǎn)品廣泛地應用于各種半導體生產(chǎn)設備和制造過程中。