分子泵的分類及結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

分子泵的分類及結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：

分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。

這種泵具體可分為： 　　

1）牽引分子泵 氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅(qū)送到泵的出口。

2）渦輪分子泵 靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。 　　

3）復(fù)合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵。

渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：

渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉(zhuǎn)子（即動(dòng)葉輪）、靜葉輪和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)等組成。動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度（一般為150～400米／ 秒）。單個(gè)葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵要由十多個(gè)動(dòng)葉輪和靜葉輪組成。動(dòng)葉輪和靜葉輪交替排列。動(dòng)、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。圖2為 20個(gè)動(dòng)葉輪組成的整體式轉(zhuǎn)子。每兩個(gè)動(dòng)葉輪之間裝一個(gè)靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動(dòng)、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動(dòng)葉輪可在靜葉輪間自由旋轉(zhuǎn)。