皮拉尼真空計(jì)是一種用于測(cè)量低氣壓（中等真空范圍）的設(shè)備，它基于皮拉尼原理，即氣體的熱導(dǎo)率與其壓力有關(guān)。這種真空計(jì)廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)和科研領(lǐng)域，用于監(jiān)測(cè)和控制真空系統(tǒng)中的壓力。
皮拉尼真空計(jì)的核心部件是一個(gè)加熱絲，通常由鉑或其他貴金屬制成。當(dāng)加熱絲通電加熱時(shí)，其溫度會(huì)上升。在真空環(huán)境中，加熱絲周圍的氣體分子數(shù)量取決于壓力的大小。高壓力下，氣體分子數(shù)量多，熱量通過(guò)氣體傳導(dǎo)散熱快，加熱絲的溫度較低；低壓力下，氣體分子數(shù)量少，熱量散失慢，加熱絲的溫度較高。
通過(guò)測(cè)量加熱絲的電阻（與溫度相關(guān)），可以間接測(cè)量氣體的壓力。因?yàn)榧訜峤z的電阻隨溫度變化而變化，而溫度又與周圍氣體的壓力有關(guān)。因此，通過(guò)精確測(cè)量加熱絲的電阻，就可以得到氣體的壓力。
產(chǎn)品特點(diǎn)
測(cè)量范圍：適用于大約10^-2到10^2毫巴（mbar）的壓力范圍，機(jī)械真空計(jì)和熱電偶真空計(jì)之間的測(cè)量空白。
非侵入性測(cè)量：通過(guò)測(cè)量熱量損失來(lái)工作的，它不會(huì)對(duì)真空系統(tǒng)產(chǎn)生任何侵入性影響。
穩(wěn)定性和重復(fù)性：具有良好的穩(wěn)定性和重復(fù)性，確保長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)可靠地監(jiān)測(cè)真空壓力。
溫度補(bǔ)償：通常內(nèi)置溫度補(bǔ)償機(jī)制，自動(dòng)調(diào)整環(huán)境溫度變化，確保準(zhǔn)確測(cè)量。
易于安裝和使用：設(shè)計(jì)緊湊，易于安裝在各種真空系統(tǒng)上，且操作簡(jiǎn)單。
與控制器兼容：它們通常可以與各種真空控制器配合使用，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制真空系統(tǒng)的壓力。
廣泛適用性：可用于各種氣體，不限于空氣，擴(kuò)展了其在不同應(yīng)用中的適用性。
應(yīng)用領(lǐng)域
皮拉尼真空計(jì)的應(yīng)用非常廣泛，包括但不限于：
半導(dǎo)體制造：在芯片生產(chǎn)過(guò)程中監(jiān)控真空環(huán)境。
薄膜沉積：用于薄膜生長(zhǎng)過(guò)程中的真空度監(jiān)控。
真空干燥：在食品和藥品的真空干燥過(guò)程中控制壓力。
科研實(shí)驗(yàn)：在物理、化學(xué)、生物等科研實(shí)驗(yàn)中維持特定的真空條件。
空間環(huán)境模擬：用于航天器的真空環(huán)境測(cè)試。
真空冶金：在特殊金屬的處理過(guò)程中控制真空環(huán)境。
注意事項(xiàng)
使用時(shí)，需要注意以下幾點(diǎn)：
校準(zhǔn)：定期進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保測(cè)量精度。
環(huán)境溫度：避免在溫度波動(dòng)大的環(huán)境中使用，或者選擇具有溫度補(bǔ)償功能的型號(hào)。
氣體成分：可用于多種氣體，但不同氣體的熱導(dǎo)率不同，可能需要根據(jù)氣體成分調(diào)整讀數(shù)。
清潔維護(hù)：保持加熱絲的清潔，避免灰塵和油脂積累，這可能影響其性能。
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