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              美國EXTORR殘余氣體分析儀特點

              更新時間:2015-09-18      點擊次數(shù):2414
              美國EXTORR殘余氣體分析儀特點
               
              •操作簡單
              •可靠,方便
              •在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體
              •定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強
              •優(yōu)化工藝過程參數(shù),提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量
              •對真空系統(tǒng)檢漏
               
              美國EXTORR殘余氣體分析儀在工藝中的效果
               
              •改善質(zhì)量
              •提高流片量
              •減少停機時間
              •改進工藝
              •縮小工藝周期
              •降低成本 
              0755-26028990
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