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              INFICON薄膜鍍層控制儀的性能特點

              更新時間:2015-09-18      點擊次數:2333
              INFICON薄膜鍍層控制儀的性能特點:
               
              a)INFICON Modelock技術確保的穩定性,甚至在非常低的速率下也能有zui高的分辨率和膜厚測量精度。
              b)Auto Z由自動確定沉積材料的Z-比值來提高膜厚的精度。
              c)同時多至6個蒸發源的共鍍膜。
              d)彩色的TFT LCD顯示器使您對整個鍍膜進程一目了然。
              e)掃描100毫秒樣品的分辨率為+/-0.0035Hz。
              f)USB數據貯存用于截屏,配方貯存和數據記錄。
              g)強有力的I/O具有靈活性(用擴展的輸入(28)和輸出(24繼電器,14TTL輸出)集成在單個或復雜系統中,和使用邏輯功能(100邏輯語句)
              h)6DAC輸出標準,6個用于源控制,速率或膜厚監測的附加選件。
              i)容納50過程,每過程200膜層,可鏈接zui大10,000膜層。
              j)多傳感謝器取平均值,多至8傳感器。
              k)顯示速率分辨高至0.001A/秒
              l)4米XIU選件為大型系統提供可使用長的真空內傳感器電纜的能力。
              m)以太網通訊選件。
              n)RoHS認證
              0755-26028990
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