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              真空系統(tǒng)常用名稱

              更新時(shí)間:2016-09-26      點(diǎn)擊次數(shù):1693
              真空系統(tǒng)常用名稱
              (1)主泵:在真空系統(tǒng)中,用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵,如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵。
              (2)前級(jí)泵:用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。
              (3)粗抽泵:從大氣壓下開始抽氣,并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵,就是粗油泵。
              (4)維持泵:在真空系統(tǒng)中,氣量很小時(shí),不能有效地利用前級(jí)泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作,此泵叫維持泵。如擴(kuò)散泵出口處配一臺(tái)小型旋片泵,就是維持泵。
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