真空系統前級泵抽速選擇

前級泵抽速選擇

排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的zui大氣體量排走，根據管路中，各截面流量恒等的原則有：

PnSg≥PgS 或

Sg≥Pgs/Pn

Sg－前級泵的有效抽速(l/s)

Pn－主泵臨界前級壓強(zui大排氣壓強)(l/s)

Pg－真空室zui高工作壓強(托)

S－主泵工作時在Pg時的有效抽速。(l/s)