MKS質量流量控制器的詳細介紹

MKS質量流量控制器是應用于多用途的大流量流量控制，涵蓋了從20SLM到200SLM的量程。和其他流量控制器相比，1559A*的控制閥門消除了運行中的振動和提供了更快的響應時間。通過平衡力閥門的設計可以自動中和在控制閥門內產生的管線壓力所導致的不平衡。  

快速的啟動，快速的響應時間和1%的測量精度（氮氣）這些特點在減少設備的停頓時間和保證正確的氣體流量到工藝腔體內都是很重要的。

MKS質量流量控制器有杰出的RFI（射頻干擾）保護能力，在閥門控制信號小于全量程的0.2%時有一個噪音的安全防護，MKS同樣提供了一個可全面兼容的、獨立的電源/讀數單元，包括246C、247D和647C。 

MKS質量流量控制器只是顯示流量的流量計，558可輸出0-5VDC的線性信號，涵蓋了和1559A相同的量程。同樣，閥門的可用型號就是154A（1559A的閥門部分）