【CIOE中國光博會】英福康邀您領略創新真空技術在鍍膜行業中的應用

2019年9月4-7日深圳會展中心 9G12展位英福康 INFICON特別邀請您參觀CIOE中國光博會領略創新真空技術在鍍膜行業中的應用

在光學行業，真空鍍膜應用廣泛，更的測量和精密的控制也已成了必需的要求。已在真空鍍膜領域潛心鉆研多年的英福康，不斷投資新的技術和功能，還可為真空鍍膜行業提供包括氣體分析儀器、真空計、真空元件和氦氣檢漏儀等在內的完整產品系列和解決方案。

在本次光博會上，英福康也將攜IC6 薄膜沉積控制器、Transpector® MPH 殘余氣體分析儀、LINXON®LX218 氦氣和氫氣檢漏儀、真空計等一系列高精度，高性能的真空儀器設備，為參展觀眾們帶來一場精彩的技術盛宴。

IC6 薄膜沉積控制器

IC6 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎上，增添了更多*的功能，可幫助您實現沉積過程的大價值。IC6 使用我們的 ModeLock 頻率測量系統，提供穩定、高分辨率的速率和厚度測量，速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 Å/s。IC6 具有其他石英晶體控制器*的性能、品質和功能，賦予您的過程的可重復性。

Transpector® CPM 3 緊湊型過程監控器

十多年來，INFICON Transpector® CPM 一直是半導體行業市場的殘余氣體分析儀 (RGA) 過程監測系統。現在，Transpector® CPM 3 通過集成經實踐驗證的泵送和進口系統與新型傳感器和電子元件，達到業內的測量速度和靈敏度。Transpector® CPM 3 是新型和現有半導體過程（例如，ALD、CVD、PVD 和蝕刻）的理想 RGA 過程監控器。

2019年9月4-7日

深圳會展中心 9G12展位

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