氦質(zhì)譜檢漏儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn)：
1、質(zhì)譜檢測(cè)儀的測(cè)量精度高，漏失量可以檢測(cè)到0.1ppm，檢測(cè)靈敏度高；
2、可測(cè)量各種有毒、無(wú)毒、稀有氣體，如氦氣、氫氣和氬氣等；
3、質(zhì)譜檢測(cè)儀的檢測(cè)效率高，可以在短時(shí)間內(nèi)完成檢測(cè)；
4、質(zhì)譜檢測(cè)儀的檢測(cè)成本低，檢測(cè)費(fèi)用低廉，可以實(shí)現(xiàn)高效檢測(cè)；
5、質(zhì)譜檢測(cè)儀的檢測(cè)環(huán)境要求低，能夠在常溫常壓下進(jìn)行檢測(cè)；
6、質(zhì)譜檢測(cè)儀的操作簡(jiǎn)單，一般人都能夠掌握操作方法，而且操作方便快捷；
7、質(zhì)譜檢測(cè)儀的維修保養(yǎng)簡(jiǎn)單，只需要定期更換部件，就可以保持其良好的檢測(cè)性能。
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里*一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡(jiǎn)便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子，在室內(nèi)來(lái)回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
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