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大型凸輪式傳輸矩形閥是一款專為光伏、新能源行業(yè)的真空環(huán)境制程而設(shè)計的大尺寸傳輸閥，采用凸輪驅(qū)動結(jié)構(gòu)實現(xiàn)精準開閉，運動平滑且低沖擊力，性能穩(wěn)定，主要用于光伏行業(yè)大型真空腔室間的硅片等物料的傳輸。
-凸輪式矩形傳輸閥-
• 適用于真空鍍膜系統(tǒng)大尺寸工件傳輸
• 凸輪式機械傳動結(jié)構(gòu)，平滑且低振動
• 運行時間長且性能不受限
• 搭配水冷降溫設(shè)計適應(yīng)復雜工況
• 可選配止回閥實現(xiàn)斷電保護
大型凸輪傳輸閥-側(cè)面視角
閥門采用創(chuàng)新式單凸輪、雙彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計以及更合理的氣路布置，可大幅減少作動時X/Y軸方向的震動，保證內(nèi)部結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性，也降低了閥門維護周期和潛在的事故率。
閥門水冷設(shè)計
閥體與密封件可耐受≤120℃高溫，驅(qū)動件耐溫≤80℃，光伏行業(yè)制程比如硅片激光刻蝕、鍍膜等工序極易產(chǎn)生高溫，搭配閥門水冷設(shè)計可適應(yīng)更多復雜工況。
—凸輪傳輸閥展出現(xiàn)場—
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