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在光伏產(chǎn)業(yè)向高效化、智能化轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵期，INFICON 作為全球真空測(cè)量與薄膜控制領(lǐng)域的技術(shù)者，正以多元化產(chǎn)品矩陣重塑太陽(yáng)能制造的底層邏輯。從鈣鈦礦電池量產(chǎn)突破到真空環(huán)境精密控制，從薄膜沉積技術(shù)到全流程協(xié)同優(yōu)化，我們將通過(guò)系列文章，逐層拆解 INFICON 不同產(chǎn)品與技術(shù)在太陽(yáng)能制造中的深度應(yīng)用。
系列第三篇
本文是繼 INFICON 薄膜沉積控制技術(shù)，真空測(cè)量方案后的第三篇文章，揭秘氦氣泄漏檢測(cè)實(shí)踐在太陽(yáng)能領(lǐng)域的深度應(yīng)用。
太陽(yáng)能電池技術(shù)飛速發(fā)展，晶體硅電池效率持續(xù)突破，鈣鈦礦電池加速崛起。CVD/ALD/PVD等關(guān)鍵設(shè)備極大優(yōu)化了電池性能，但設(shè)備泄漏問(wèn)題成為重大挑戰(zhàn)。以PECVD設(shè)備為例，泄漏會(huì)導(dǎo)致反應(yīng)腔內(nèi)氣體成分和壓力失控。在HJT（異質(zhì)結(jié)）電池制造中，這將造成非晶硅鈍化層生長(zhǎng)不均，使電池的開(kāi)路電壓和填充因子下降，光電轉(zhuǎn)換多可降低不少。
面對(duì)如此嚴(yán)峻的泄漏挑戰(zhàn)，INFICON推出由UL系列檢漏儀(UL1000/3000/6000)、SMART-Spray智能噴槍和I-BOOST加速系統(tǒng)組成的氦氣檢漏方案，為設(shè)備真空系統(tǒng)提供保障。
INFICON的UL系列（UL1000/3000/6000）檢漏儀堪稱檢漏界的 “精密大師"，檢測(cè)精度可達(dá) 10?12mbar?l/s，能夠精準(zhǔn)捕捉到極其細(xì)微的泄漏。無(wú)論是高真空環(huán)境，還是中低真空區(qū)域，它都能從容應(yīng)對(duì)，為不同工藝環(huán)節(jié)的設(shè)備提供可靠的檢測(cè)數(shù)據(jù)。
SMART-Spray摒棄了傳統(tǒng)的軟管連接，采用無(wú)線設(shè)計(jì)，配備可充注微型氦氣瓶(HeliCan)，能夠輕松深入PECVD/PVD設(shè)備縫隙等傳統(tǒng)手段難以觸及的區(qū)域，極大地提高了檢測(cè)的靈活性和覆蓋范圍，讓漏點(diǎn)無(wú)處遁形。
同時(shí)，它具備精準(zhǔn)定量噴射功能，可根據(jù)實(shí)際需求精確控制氦氣噴射量，避免因氦氣過(guò)量或不足影響檢測(cè)結(jié)果。其集成的 1.8 英寸彩色顯示屏能實(shí)時(shí)顯示漏率數(shù)據(jù)，配合遙控器，操作人員無(wú)需靠近危險(xiǎn)或高溫區(qū)域，就能遠(yuǎn)程操控檢測(cè)過(guò)程，既提高了檢測(cè)效率，又保障了人員安全。
以前給 PECVD 腔體檢漏像等公交車，得熬很長(zhǎng)時(shí)間才能出結(jié)果。現(xiàn)在 I-BOOST 一啟動(dòng)，就像給檢漏儀裝上了火箭引擎。這個(gè)“超級(jí)引擎"改變了傳統(tǒng)檢測(cè)大容積腔體耗時(shí)長(zhǎng)的局面。它通過(guò)優(yōu)化算法和硬件，將氦氣響應(yīng)速度提升數(shù)倍，能在極短時(shí)間內(nèi)快速捕捉泄漏信號(hào)。
結(jié)語(yǔ)
INFICON這套黃金組合不僅是檢漏工具，更是工藝控制與效率突破的技術(shù)樞紐：
UL系列實(shí)現(xiàn)全量程覆蓋，量化壓力波動(dòng)數(shù)據(jù)；
SMART-Spray 無(wú)線精準(zhǔn)定位漏點(diǎn)；
I-BOOST 極速響應(yīng)，使真空檢測(cè)從“事后排查"升級(jí)為“實(shí)時(shí)智能調(diào)控"。
在光伏邁向TWh時(shí)代的進(jìn)程中，它們以真空精度，支撐TOPCon、HJT、鈣鈦礦等新一代電池技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化高度，澆筑可持續(xù)發(fā)展的“真空基石"。
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