干式氦氣檢漏儀

超測(cè)試™傳感器 技術(shù)

專為滿足半導(dǎo)體應(yīng)用中的泄漏檢查需求而設(shè)計(jì)。

它具有靈活性、移動(dòng)性、快速啟動(dòng)、高靈敏度、快速精確的測(cè)試結(jié)果和可靠性。

UL3000 FAB ULTRA 型號(hào)的突出優(yōu)勢(shì)

由于更高的空氣泵送速度，抽空（抽真空）時(shí)間更快。

由于羅茨粗加工泵的維護(hù)成本低，總擁有成本 （TCO） 更低。

作為 HYDRO·S 軟件消除了水蒸氣背景，可以快速達(dá)到敏感的測(cè)量范圍

UL3000 Fab ULTRA 還通過使用久經(jīng)考驗(yàn)的嗅探器系列 SL3000（長度可達(dá) 10 米）提高了嗅探器功能。SL3000具有單獨(dú)的連接端口，因此無需連接到真空入口。

兩種型號(hào)均具有

快速獲得結(jié)果

改進(jìn)的真空系統(tǒng)具有低維護(hù)真空泵，可以從大氣壓開始檢測(cè)泄漏。堅(jiān)固耐用的質(zhì)譜儀系統(tǒng)可確保較長的運(yùn)行時(shí)間和較低的維護(hù)成本。

可旋轉(zhuǎn)顯示屏和遠(yuǎn)程可控用戶界面

新的觸摸屏顯示器甚至可以從很遠(yuǎn)的距離顯示測(cè)試結(jié)果和狀態(tài)信息。通過用戶引導(dǎo)的菜單結(jié)構(gòu)輕松操作，即使對(duì)于沒有經(jīng)驗(yàn)的操作員也是如此。UL3000 Fab （ULTRA） 可通過智能手機(jī)或平板電腦進(jìn)行無線控制 - 無需特殊軟件或應(yīng)用程序。通過按鈕記錄和存儲(chǔ)測(cè)試結(jié)果可以傳輸?shù)狡渌鎯?chǔ)介質(zhì)進(jìn)行進(jìn)一步分析。

超薄設(shè)計(jì)，具有可操作性

UL3000 Fab （ULTRA） 的重心低、車輪大、符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的手柄和纖薄的外殼，即使在狹小的空間內(nèi)也能實(shí)現(xiàn) UL3000 Fab （ULTRA） 的良好移動(dòng)性。

好處

• 利用 I·CAL 軟件算法節(jié)省時(shí)間，可在 10-9 至 ^10-12 mbar·l/s 的范圍內(nèi)進(jìn)行快速測(cè)量

• 使用I·ZERO 2.0進(jìn)行zuigaoxiao的泄漏檢查，具有改進(jìn)的智能功能，可在保持高測(cè)量靈敏度的同時(shí)實(shí)現(xiàn)快速背景抑制

• 適用于真空和嗅探器泄漏搜索

• 通過快速疏散和響應(yīng)時(shí)間大限度地減少泄漏檢查工作

• 通過纖薄設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)輕松的可操作性，從而節(jié)省時(shí)間

• 通過強(qiáng)大的離子源（3 年保修）和逆流真空系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)低總擁有成本 （TCO）

• 易于使用、操作員引導(dǎo)的 HMI，帶全彩色高分辨率可旋轉(zhuǎn)顯示屏

• UL3000 超超制造：作為 HYDRO·S 軟件消除了水蒸氣背景，可以快速達(dá)到敏感的測(cè)量范圍

• UL3000 Fab ULTRA：由于羅茨泵的空氣泵送速度較高，抽空（抽真空）時(shí)間更快

• UL3000 Fab ULTRA：由于羅茨粗加工泵的維護(hù)成本低，因此降低了總擁有成本（TCO）。

• UL3000 Fab ULTRA：檢漏儀還通過使用久經(jīng)考驗(yàn)的嗅探器系列 SL3000（長度可達(dá) 10 米）提高了嗅探器功能。SL3000具有單獨(dú)的連接端口，因此無需連接到真空入口。

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體晶圓廠

• 平板顯示器制造

• 太陽能電池制造

• 玻璃和卷筒紙（卷對(duì)卷）涂層

• 一般真空鍍膜和應(yīng)用