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              Product Center

              產(chǎn)品中心

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              真空矩形閥

              簡要描述:真空矩形閥廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電產(chǎn)業(yè)之鍍膜設(shè)備,安裝于生產(chǎn)線與過渡腔室(load-lock chamber),過渡腔室(load-lock chamber)與傳輸系統(tǒng)(handling system),傳輸系統(tǒng)(handling system)與制程腔室(process chamber)等需要真空與壓力分隔的地方。

              • 產(chǎn)品型號:
              • 廠商性質(zhì):代理商
              • 更新時間:2025-10-31
              • 訪  問  量:2925
              • 產(chǎn)品資料:

              詳細(xì)介紹

              品牌其他品牌產(chǎn)地進(jìn)口
              加工定制

              產(chǎn)品應(yīng)用

              Htc真空矩形閥是采用了直連驅(qū)動技術(shù)的真空閥,外形尺寸小,設(shè)計緊湊,所有動件皆位于大氣側(cè)因而與真空側(cè)隔絕,可減少粉塵產(chǎn)生,并提升產(chǎn)品的使用壽命。另外還有無氣壓時的封合自鎖保護(hù),封板快速拆裝設(shè)計易維修等優(yōu)點。


              設(shè)計原理/特征

              l   低振動及低粉塵設(shè)計(Low vibration and Low particle)

              l   利用凸輪機(jī)構(gòu)與彈簧完成封板封合動作。

              l   雙氣壓缸、單出力軸驅(qū)動。

              l   驅(qū)動軸桿封合頂緊輔助裝置。

              l   無氣壓時的封合自鎖保護(hù)裝置。

              l   封板快速拆裝設(shè)計,方便O-ring維修更換。

              l   100 萬周期壽命。


              真空矩形閥分類

              l   標(biāo)準(zhǔn)型矩形閘閥(Standard Rectangular Transfer valves)

              l   標(biāo)準(zhǔn)型矩形門型閘閥(Rectangular doors)

              l   大型矩形閘閥(Large rectangular transfer valves)

              l   大型矩形門型閘閥(Large rectangular doors)


              Body 材質(zhì)

              鋁合金或不銹鋼(Aluminum or Stainless)

              Body 表面處理

              電解拋光 or 鋁硬陽處理(Electrolytic polishing or Hard anodized Aluminum)




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