中真空至超高真空單真空計

Trigon™ BAG552中真空至超高真空單真空計

對于需要獨立熱離子規技術的應用，Trigon™ 系列中包含了采用單一技術的 Bayard-Alpert 熱電離規 BAG552。BAG552 專為壓力范圍為 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的氣體真空測量而設計。支持雙燈絲，具有出色的精度、可重復性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。

優勢：

• 1、純粹的 Bayard-Alpert 測量系統，適用于超高壓和高壓測量范圍

• 2、雙燈絲設計

• 3、電隔離電子設備，避免雜散電流

• 4、滑動發射模式，避免在切換發射流時出現壓力跳躍和凍結現象

• 5、可移動校準數據芯片，延長了烘烤時間

• 6、設定點繼電器

• 7、明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉），帶用戶界面

• 8、模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口

• 9、可與 VGC50x 控制器系列配合使用

• 10、符合 RoHS 規范

• 典型應用：

• 1、半導體工藝中的壓力測量

• 2、工業鍍膜

• 3、高真空至超高真空范圍內系統的一般真空測量和控制

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