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              EDWARDS復合渦輪分子泵

              簡要描述:BOC Edwards EXT泵適用于除zui苛刻的半導體應用和科學應用(這些領域可使用STP系列泵)以外的任何領域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統軸承相比具有更輕、更硬和更平穩的優點,以及壽命長、小振動的優點。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料,防止了微小凹陷而提高可靠性。

              • 產品型號:EXT406PX
              • 廠商性質:代理商
              • 更新時間:2025-11-07
              • 訪  問  量:5615
              • 產品資料:

              詳細介紹

              品牌Edwards/愛德華產地進口
              加工定制

              BOC Edwards EXT406PX泵

              性能特點

              真空系統簡單

              * 可以選用較小的前級泵。

              * 降低真空系統體積與功耗。

              * 前級壓力在8mbar就可啟動,入口負載可達2E-3 。

              * 前級壓力在8mbar就可啟動,入口負載可達2E-3 。

              * 前級壓力為17mbar時,還可維持正常轉速。

              非常適合于與隔膜泵聯用,特別適用于抽H2。

              兼容24v DC Edwards TIC渦輪控制器或渦輪儀表控制器。

              * 也可使用用戶自己的24V DC電源。

              技術數據


              入口法蘭          DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF

              壓縮比

              N2

              >1 x 10E11

              He

              1 x 10E6

              出口法蘭(前級泵口)

              DN25NW

              前級泵(推薦)

              XDS10或RV12(或其它更小的,依應用而定)

              放氣口

              1/8 inch BSP

              吹掃凈化口

              1/8 inch BSP

              zui高入口壓力(空氣) *



              水冷(水溫15°C,大氣溫度40°C)

              0.008mbar


              空冷(大氣溫度35°C)

              0.012mbar

              額定轉速

              60000 rpm

              轉速達到90%所需時間 **

              285 s

              冷卻方式

              空冷/水冷

              大氣溫度(空冷)

              5-35 °C

              冷卻水zui低流速(水溫15 °C)

              15 l/h

              水溫范圍

              10-20 °C

              入口法蘭zui高溫度

              100 °C

              工作姿態

              垂直

              噪音(1m處)

              <45 dB(A)

              zui大磁場

              5 mT

              靜止功耗

              25~40 W

              EXT406PX渦輪分子泵安裝尺寸

              A EXDC控制器

              B 前級泵口

              C 羅茨泵口

              D 吹掃凈化口

              E 放氣口

              F 接地


              EXT406PX渦輪分子泵特性曲線


              訂貨信息


              描述

              貨號

              EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN100ISO入口法蘭

              B760-31-991

              EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN100CF入口法蘭

              B760-32-991

              EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN160ISO入口法蘭

              B760-41-991

              EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN160CF入口法蘭

              B760-42-991

              EXDC160 24 V

              D396-46-000








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