INFICON CrystalSix探頭（傳感器）

INFICON750-446-G1 CrystalSix探頭的詳細資料：

INFICON CrystalSix 晶體對于要求連續監控速率的長時間過程非常重要。CrystalSix 傳感器在一個傳感器頭中含有 6 顆石英監控器晶體，為 OLED、MBE、太陽能、長時間光學鍍膜或其他需要長時間腔室排氣的過程提供安全性。與 INFICON 薄膜沉積監控器結合使用時，CrystalSix 在當前晶體失效或不穩定的情況下，會自動將新的晶體轉動到適當的位置。晶體更換是自動完成的，不會中斷您的過程，支持持續監控沉積速率。

晶體索引通過氣動機制完成。相比同類裝置使用的昂貴的真空發熱電機，這種氣動馬達可提供更好的晶體熱穩定性。一個 8 英寸的水冷卻管保持傳感器頭的熱穩定性，并提供晶體位置的靈活性。

與某些 INFICON 薄膜控制器結合使用時，傳感器提供位置反饋，因此可針對特定的材料安排特定的位置。

功能

• 裝有 6 顆晶體，可進行可靠的自動轉換，從而大限度延長過程運行時間

• 晶體轉換由空氣驅動完成（競爭產品是使用生熱電機），因而晶體溫度非常穩定

• 1/8" 管保持熱穩定性，并提供傳感器放置的靈活性

• 提供可選晶體閘