INFICON殘余氣體質譜儀

Transpector 2INFICON殘余氣體質譜儀

Transpector 2的特點：

1、100，200和300-amu系統帶法拉第杯或電子倍增器/法拉第杯的組合。

2、改進的氫檢測。

3、的峰值和位置的穩定性。

4、與原始的Transpector相比訊噪比提高10倍。

5、快速掃描低值訊號。

6、9個量級的電子學動態量程。

7、用于單傳感器和多傳感謝器系統的軟件選件

8、分壓測量從1X10^-4乇至2X10^-14乇

INFICON，RGA技術的者按照當今工藝和應用要求更新了Transpector殘余氣體質譜儀系列。Transpector 2提供更良好的氫檢測，更快速的掃描，擴展的動態量程，更高的同位素分辨靈敏度和的譜峰及幅值穩定性。它是過程監測，過程診斷與檢漏，是廣大客戶zui明智的選擇。

Transpector 2是基于四極場的智能傳感器，全部傳感器電子驅動加上微處理器安裝在一個附在傳感器的小型輕便的密閉匣內。由于它是智能的傳感器具有相當的靈活性，您可使用當前的計算機或從INFICON選購PC和軟件包，兩種通訊鏈接。RS232用于單傳感器，RS485用于多傳感器配置。簡單的指令協議支配全部Transpector功能。

Transpector 2提供更精確可靠的數據是由采用RF和前置放大器測量電路。這些電子學提高了氫的檢測性能和降低了所有氣體的zui小可檢分壓，從而得到更好的污染控制，以及更快速更穩定的掃描，*適合當今快速工藝過程的要求。

改進帶來更靈敏的氫檢測

Transpector 2的RF電路，在保持適當功率的同時使用較高的RF頻率，將氫的檢測提高至PPM量級。此外，由于RF頻率是數字合成的，它自動調整至適合于傳感器的頻率，并鎖定在這個頻率上。改進的PF電路減少預熱所需的時間，提供的峰幅值與位置的穩定性，實際上免除了日常調諧質量刻度的要求。

更快速的數據掃描

Transpector 2新的前置放大器允許用戶快速掃描低值訊號，從而跟上過程變化的進度。由于降低了噪聲數據更加穩定與及時。當使用電子倍增器取樣時，訊噪比可比原始的Transpector高至7倍（比法拉第模式高至10倍）。電子單元提供9個量級的動態量程（從1X10^-6至1X10^-15安）

Transpector 2與TWare32（或老的軟件如TranspectorWare）結合提供一個滿足當前的科研生產過程監測，和數據收集迫切需要的理想系統。可適用Windows95,98,2000,Me或MT的TWare32包含了整個陳列的基本RGA功能，包括趨向分析，條圖形式，檢漏，模擬和可選擇的譜峰模式。它還包含過程監測功能包括處方的產生，自動化數據收集，和閾值限的設點。

各種軟件選件

如我們的標準軟件包（適用Windows的TWare32）不能滿足您的應用的需要，我們可為客戶供應特定的程序包。動態數據交換（DDE）驅動程序可自動設置用于通訊的Transpector，允許用戶要收集的數據和進入DDE-兼容程序，如EXCEL或WonderWare直接讀數據。

客戶特定的工具集成

INFICON為更應用需要提供一種客戶特定的工具集成軟件包FabGuard。Fabguard利用基于工具的狀態和Transpector的RGA數據分析例程提供全面的報警。這個多功能的集成軟件包還可與RGA以外的傳感器如光輻射譜儀或粒子計數器通訊。采用許多半導體工具的SECS II接口，FabGuard要收集來自工具本身的數據，并將它們添加到各種分析算法中。

只支付您需要的性能

Transpector殘余氣體質譜儀提供大量適合您應用要求的選擇。為基本壓強的應用我們供應若干開式源的Transpector型號，范圍從1至300amu，用法拉第杯（FC）或電子倍增器/法拉第杯（EM/FC）組合，可根據實際的要求選用。

Transpector XPR2為過程監測應用提供zui簡單方式的氣體污染監測和過程校驗。它運行于高至20毫乇的壓強，在過程中檢測低至10ppm的污染物。為滿足ppm或亞-ppm污染物的檢測要求，INFICON供應Transpector CIS2（閉式離子源）。它的特點是配備完整的聯鎖抽氣系統，可從大氣壓至高真空進行過程取樣。

簡化的多傳感器系列配置

Transpector 2的多通道功能使多室裝置能更簡便和經濟地運行。單個計算機可操作多臺Transpector在RS485網絡上與CIS和XPR等型號組成任何簡便與高性能的組合。每臺Transpector 2可通過它配置的DIP開關簡易地分配地址。為故障查找或服務功能，由RS232C接口通過HyperTerminal連接至計算機很容易完成任何傳感器網絡上的就地控制。在網絡上每個單元單獨地操作和與網絡上的其它傳感器同步運行，這樣每臺Transpector 2內的全部繼電器和控制器連續動作。電源接口將由機臺或外接電源供應的24伏電壓連接至Transpector 2。

保持您的工藝過程和儀器本身

Transpector 2儲存您的校準和設點數據，與控制計算機無關。（計算機的作用如一臺外圍設備，儲存與顯示您的過程數據，允許您與傳感器通訊）。這樣即使計算機與探頭的連接斷開或因任何其它原因丟失通訊，探頭將繼續進行監測與控制。此外，當總壓強超過工作中的探頭值限或電子學超過它的正常工作溫度時，編程的真空系統可自動關斷Transpector 2的發射。

Transpector 2可控制多至3個設點的狀態繼電器，為報警指示提供外訊號，或當氣體超過它的規定值時將過程中止。兩個差分的10伏模擬輸入通道用于將RGA數據與模擬數據相結合（例如：總壓強，光輻射或溫度計數據）以及一個提供四個0-10伏輸出和模擬電路板選件。

兩個LED指示燈，一個顯示發射on 或off，另一個顯示Transpector 2的電源和是否作好通訊準備，提供Transpector狀態的就地指示，免除涉及對遙控位置的PD和軟件的需求。

Transpector 2INFICON殘余氣體質譜儀一般用途：

下列應用中的檢漏，真空故障查找和出氣研究：

1、 光學鍍膜

2、 表面科學

3、 退吸研究

4、 加速器/儲存環

5、 高能物理

6、 宇航工程

7、 MBE

工藝過程的特性化和監測中：

1、 真空熱處理

2、 磁盤制造