科銳詩汀詳細單位換算表量英制單位換算系數英制換算為單位單位換算為英制長度英寸(in)英尺(ft)碼(yard)哩(mile)毫米(mm)或厘米(cm)厘米(cm)或米(m)米(m)千米(km)1英寸=25.4mm1英尺=30.5cm1碼=0.914m1哩=0.914km1cm=0.394英寸1m=3.28英尺1m=1.09碼1m=0.62哩面積平方英寸(in2)平方英尺(ft2)平方碼(yard2)畝(acre)平方哩(mile2)平方毫米(mm2)平方厘米(cm2)或平方米...

渦輪分子泵的抽氣原理分子泵輸送氣體應滿足二個必要條件：1）.渦輪分子泵必須在分子流狀態下工作。因為當將一定容積的容器中所含氣體的壓力降低時，其中氣體分子的平均自由程則隨之增加。在常壓下空氣分子的平均自由程只有0.06μm，即平均看一個氣體分子只要在空間運動0.06μm，就可能與第二個氣體分子相碰。而在1.3Pa時，分子間平均自由程可達4.4mm。若平均自由程增加到大于容器壁間的距離時，氣體分子與器壁的碰撞機會將大于氣體分子之間的碰撞機會。在分子流范圍內，氣體分子的平均自由程長...

這是一個老問題了。從工作機理來說，分子泵對油蒸汽的壓縮比很高，即使前級有油蒸汽存在，高真空室通常無法檢測到油蒸汽，所以，往往被稱為“無油”泵。其實，上述說法只有在分子泵操作步驟合理時才能成立。分子泵處于停止狀態，泵的軸承（磁懸浮軸承除外）和前級泵（干式前級泵除外）的潤滑油蒸汽可能擴散到高真空室。1）停泵狀態：氣體的擴散速度與壓強平方成反比。停泵狀態，只要壓強＞50Pa，對大部分用戶來說，油蒸汽的擴散可以忽略，可以認為“無油”。2）制動過程：分子泵制動過程中，真空室壓強逐漸升高...

1、真空的定義真空系統指低于該地區大氣壓的稀簿氣體狀態2、真空度處于真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。3、真空度單位通常用托（Torr）為單位，近年上取用帕（Pa）作為單位。1托＝1/760大氣壓＝1毫米汞柱

前級泵抽速選擇排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的zui大氣體量排走，根據管路中，各截面流量恒等的原則有：PnSg≥PgS或Sg≥Pgs/PnSg－前級泵的有效抽速(l/s)Pn－主泵臨界前級壓強(zui大排氣壓強)(l/s)Pg－真空室zui高工作壓強(托)S－主泵工作時在Pg時的有效抽速。(l/s)

擴散泵抽速計算公式：S＝Q/P＝(K·n)/(P·t)(升/秒)式中：S－被試泵的抽氣速率(l/s)n－滴管內油柱上升格數(格)t－油柱上升n格所需要的時間(秒)P－在泵口附近測得的壓強(托)K－滴管系數(托·升/秒)K＝V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt其中V0－滴管和真空膠管的原始容積(升)L－滴管刻度部分的長度(mm)n－滴管刻度部分的格數(格)Υ0－油的比重(克/厘米3)Υm－汞的比重(克/厘米3)Pa－當地大氣壓強(托)△Vt－滴管的刻度上的一格的對應的容...

INFICON電容薄膜規的特點：1、以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成2、在嚴酷和腐蝕性環境中,穩定與可靠的高精度壓強測量3、快速的預熱和恢復時間,提高生產率4、的長期穩定性,再現性和重復性5、由于電子學直接安裝在傳感器上,改進了溫度補償和EMC兼容性6、對環境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩定7、快速預熱在開機的一分鐘內達到快速穩定和進入準備使用狀態8、一鍵按鈕:調零功能和設點調整9、抗腐蝕超純陶瓷傳感器10、能經受數百萬次壓強循環周期,包括大氣壓沖擊,無任何降低性能的跡...

真空系統常用名稱(1)主泵：在真空系統中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。(2)前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。(4)維持泵：在真空系統中，氣量很小時，不能有效地利用前級泵。為此配置一種容量較小的輔助泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴散泵出口處...

加熱型薄膜規壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關系,通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度1、零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環境）2、更高的精度3、環境溫度變換/環境壓力變化/環境氣流變化對精度無影響4、比工藝更快的預熱啟動時間’5、快速恢復時間大氣壓6、任意安裝角度7、抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產生氣體的腐蝕影響

電容薄膜規要求高的應用條件下，而快速的壓強測量1、用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導體設備制造，如太陽能光伏行業的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設備標配產品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質量流量計用的是1179BX23CR14VSPC1...

INFICON皮拉尼真空計應用行業1.各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏，鍍膜，等離子行業2.各種中低真空測量，如照明，冶金3.真空連鎖控制，高真空計的點火開關控制，如PEG1004.PSG050可*替代TR211，PSG051可*替代TR2165.PCG400PCG410(現在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已經停產)與PSG500基本相同，但彌補了皮拉尼規大氣測量段精度不足的弱點，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍寶石爐上廣泛應用6.PS...

皮拉尼真空計具體型號lPSG050/051lPSG100-SPSG101-SlPSG500/500-SPSG502l皮拉尼電容膜片復合真空計PCG400PCG410PCG5501.有皮拉尼規與特制的陶瓷薄膜規合成在一起2.兩種原理的規管全過程都工作3.100mbar—1000mbar使用薄膜規信號4.1mbar–100mbar兩規信號同時采用5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信號6.輸出的真空度信號（電壓）連續，無跳躍